1980 жылдардың ортасында Беклемышев, Аллрн және басқа ғалымдар практикалық жұмыс қажеттіліктері үшін лазерлік технология мен тазалау технологиясын біріктіріп, осыған байланысты зерттеулер жүргізді. Содан бері лазерлік тазалаудың техникалық тұжырымдамасы (Laser Cleanning) дүниеге келді. Ластаушы заттар мен субстраттар арасындағы байланыс Байланыс күші коваленттік байланыс, қос дипольдік, капиллярлық әрекет және ван-дер-Ваальс күштері болып бөлінетіні белгілі. Егер бұл күшті жеңуге немесе жоюға болатын болса, залалсыздандыру әсеріне қол жеткізіледі. Лазерлік тазалау - бұл ластаушы заттар мен субстрат арасындағы байланыс күші жойылатын немесе ластаушы заттарды залалсыздандыру және азайту үшін ластаушы заттар тікелей буланып кететіндей етіп, үлкен энергия тығыздығы, басқарылатын бағыт және күшті конвергенция қабілеті сипаттамалары бар лазер сәулелерін пайдалану. матрицамен байланыстыру күші, содан кейін дайындаманың бетін тазалау әсеріне қол жеткізу. Дайындама бетіндегі ластаушы заттар лазердің энергиясын сіңіргенде, ластаушы заттар мен субстрат беті арасындағы күшті жеңу үшін қыздырылғаннан кейін тез буланады немесе лезде кеңейеді. Жылыту энергиясының жоғарылауына байланысты ластаушы бөлшектер дірілдейді және субстрат бетінен түседі. Бүкіл лазерлік тазалау процесі шамамен 4 кезеңге бөлінеді, атап айтқанда лазерлік булану және ыдырау, лазерлік аршу, ластаушы бөлшектердің термиялық кеңеюі, субстрат бетінің дірілдеуі және ластаушы заттарды бөлу. Әрине, лазерлік тазалау технологиясын қолданған кезде тазартылатын нысанның лазерлік тазалау шегіне де назар аудару керек және ең жақсы тазалау әсеріне қол жеткізу үшін сәйкес лазер толқын ұзындығын таңдау керек. Лазерлік тазалау астар бетін зақымдамай, астар бетінің түйіршік құрылымын және бағытын өзгерте алады, сонымен қатар субстрат бетінің кедір-бұдырын басқара алады, осылайша субстрат бетінің жалпы өнімділігін арттырады. Тазалау әсеріне негізінен арқалықтың сипаттамалары, субстрат пен ластаушы материалдың физикалық параметрлері және кірдің сәуленің энергиясын сіңіру қабілеті сияқты факторлар әсер етеді. Қазіргі уақытта лазерлік тазалау технологиясы үш тазалау әдісін қамтиды: құрғақ лазермен тазалау технологиясы, дымқыл лазермен тазалау технологиясы және лазерлік плазмалық соққы толқыны технологиясы. 1. Құрғақ лазермен тазалау импульстік лазердің дайындаманы тазалау үшін тікелей сәулеленуін білдіреді, осылайша субстрат немесе беткі ластаушы заттар энергияны сіңіреді және температура көтеріледі, нәтижесінде субстраттың термиялық кеңеюі немесе термиялық дірілі, осылайша екеуін ажыратады. Бұл әдісті шамамен екі жағдайға бөлуге болады: бірі - беткі ластаушылар кеңейту үшін лазерді сіңіреді; екіншісі - термиялық дірілді жасау үшін субстрат лазерді сіңіреді. 2. Ылғалды лазермен тазалау – дайындаманы импульстік лазермен сәулелендіру алдында бетіне сұйық қабықшаны алдын ала жабу. Лазердің әсерінен сұйық қабықтың температурасы тез көтеріледі және буланады. Ластаушы бөлшектерге әсер ететін булану сәтінде соққы толқыны пайда болады. , Оның астардан құлап кетуін қамтамасыз етіңіз. Бұл әдіс субстрат пен сұйық қабықтың әрекеттесуі мүмкін еместігін талап етеді, сондықтан қолдану материалдарының көлемі шектеулі. 3. Лазерлік плазмалық соққы толқыны – лазерлік сәулелену процесі кезінде ауа ортасын бұзу нәтижесінде пайда болатын сфералық плазмалық соққы толқыны. Соққы толқыны жуылатын субстраттың бетіне әсер етеді және ластаушы заттарды кетіру үшін энергияны шығарады; лазер субстратқа әсер етпейді, сондықтан ол негізге зақым келтірмейді . Лазерлік плазмалық соққы толқынын тазалау технологиясы енді бөлшектердің мөлшері ондаған нанометр болатын бөлшектердің ластаушы заттарын тазарта алады және лазер толқын ұзындығына шектеу жоқ. Нақты өндірісте жоғары сапалы тазалау дайындамаларын алу қажеттіліктеріне сәйкес әртүрлі сынақ әдістері мен сәйкес параметрлерді таңдау керек. Лазерлік тазалау процесінде бетті тазалау тиімділігі мен сапаны бағалау лазерлік тазалау технологиясының сапасын анықтау үшін маңызды көрсеткіштер болып табылады.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies.
Privacy Policy
