Литография - бетінің өрнекті қажет етпейтін аймақтарын қоспағанда, жобаланған үлгіні тікелей немесе аралық орта арқылы тегіс бетке тасымалдау әдісі. Маскалы литографияда дизайн субстратқа басып шығарылады және алазеросылайша тұндырылған материал ары қарай өңдеуге дайын болады. Бұл литография әдісі жартылай өткізгіш пластиналарды жаппай өндіруде кеңінен қолданылады. Вафлидегі шағын мүмкіндіктердің айқын кескіндерін проекциялау мүмкіндігі қолданылатын жарық толқынының ұзындығымен шектеледі. Бүгінгі таңда ең жетілдірілген литография құралдары терең ультракүлгін сәулені (DUV) пайдаланады және болашақта бұл толқын ұзындығы терең ультракүлгін сәулені (193 нм), вакуумдық ультракүлгін сәулені (157 нм және 122 нм) және экстремалды ультракүлгін сәулені (47 нм және 13 нм) қамтиды. ). IC, MEMS және биомедициналық нарықтар үшін күрделі өнімдер мен жиі дизайн өзгерістері - әртүрлі функциялар мен субстрат өлшемдеріне сұраныс өсіп келе жатқанда - өндіріс көлемін азайта отырып, осы жоғары теңшелген шешімдерді өндіру құнын арттырды. Маска негізіндегі (маска) литографиялық дәстүрлі шешімдер осы қолданбалардың көпшілігі үшін үнемді немесе практикалық емес, мұнда маска жиынтықтарының көп санын жобалауға және өндіруге кететін шығын мен уақыт тез өсуі мүмкін. Дегенмен, маскасыз литография қолданбаларына өте қысқа УК толқын ұзындығының қажеттілігі кедергі келтірмейді, оның орныналазеркөк және УК диапазонындағы көздер. Маскасыз литографияда,лазерфотосезімтал материалдардың бетінде микро/нано құрылымдарды тікелей жасайды. Бұл әмбебап литография әдісі маска шығын материалдарына сүйенбейді және орналасуды тез өзгертуге болады. Нәтижесінде үлкен аумақты қамту артықшылығын сақтай отырып (мысалы, 300 мм жартылай өткізгіш пластиналар, жалпақ панельді дисплейлер немесе PCBS) дизайн икемділігімен жылдам прототиптеу және әзірлеу оңайырақ болады. Жылдам өндіріс талаптарын қанағаттандыру үшін,лазерлерМаскасыз литография үшін қолданылатын бетперде қолдану үшін қолданылатын сипаттамаларға ұқсас: Үздіксіз толқынды жарық көзі ұзақ мерзімді қуат пен толқын ұзындығының тұрақтылығына, тар сызық ені мен масканың аз өзгеруіне ие. Аз техникалық қызмет көрсету немесе өндірістік циклдарды үзумен ұзақ қызмет ету тұрақтылығы екі қолданба үшін де маңызды. DPSS лазері өте тұрақты тар сызық еніне, толқын ұзындығының тұрақтылығына және қуат тұрақтылығына ие және екі литография әдісіне жарамды. Біз толқын ұзындығының теңдесі жоқ тұрақтылығы, тар сызық ені және құрғақ ұзындықтағы толқын ұзындығы диапазонында шағын ізі бар жоғары қуатты, бір жиілікті лазерлерді жобалаймыз және шығарамыз, бұл оларды қолданыстағы жүйелерге біріктіру үшін өте қолайлы етеді.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies.
Privacy Policy
