Датчик – өлшенген ақпаратты сезе алатын және сезілген ақпаратты электрлік сигналға немесе ақпаратты беру, өңдеу, сақтау және көрсетуге, жазуға және басқаруға қойылатын талаптарды қанағаттандыру үшін ақпаратты шығарудың басқа қажетті түріне түрлендіре алатын анықтау құрылғысы.
Өндіріс процесіне қарай жіктеледі:
Біріктірілген сенсорлар кремний негізіндегі жартылай өткізгіш интегралдық схемаларды өндіру үшін стандартты технологиялық технологияны қолдана отырып дайындалады. Сынақтағы сигналды бастапқы өңдеу үшін пайдаланылатын схеманың бір бөлігі де әдетте сол чипке біріктірілген, мысалы, қазір әзірленіп жатқан MEMS сенсоры.
Жұқа пленка сенсоры диэлектрлік негізге (субстратқа) салынған сәйкес сезімтал материалдың пленкасы арқылы қалыптасады. Араластыру процесі пайдаланылған кезде, схеманың бір бөлігін осы негізге де жасауға болады.
Қалың пленка сенсоры әдетте Al2O3-тен жасалған керамикалық негізге сәйкес материалдың суспензиясын жабу арқылы жасалады, содан кейін қалың пленка қалыптастыру үшін термиялық өңдеуден өтеді.
Керамикалық сенсорлар стандартты керамикалық процестерді немесе олардың кейбір вариацияларын (зол, гель және т.б.) пайдалана отырып шығарылады. Тиісті дайындық операциясы аяқталғаннан кейін қалыптасқан компонент жоғары температурада агломерацияланады.
Қалың пленка мен керамикалық сенсорлардың екі процесі арасында көптеген ортақ сипаттамалар бар. Кейбір жағынан қалың пленка процесін керамикалық процестің нұсқасы ретінде қарастыруға болады.
Датчиктерді таңдау тек сезімталдық, жиілік реакциясы, сызықтық диапазон, тұрақтылық және дәлдік тұрғысынан ғана емес. Тұрақтылық субстрат материалымен тығыз байланысты. Алғашқы бірнеше элементтер негізінен өндіріс процесіне қарайды. Тұрақтылық тұрғысынан, содан кейін сенсорлар үшін ең қолайлы керамикалық емес схема. Керамикалық материалдардың тұрақтылығы өте жақсы. Өндіріс процесі технологиясы өтіп кеткенше, керамикалық схемалар басқа ПХД-ға қарағанда жақсырақ.
Керамикалық схемалық платаларды өндірудің ең жақсы процесі - бұл керамика мен металдарды берік ету үшін иондау үшін жоғары энергиялы лазер сәулелерін пайдаланатын LAM технологиясы, лазерлік белсендіру металлизациясы (LAM технологиясы).
Дегенмен, қазіргі уақытта отандық сенсор өндірушілері негізінен шағын және орта. Қолданылуда әлі де көптеген пленка процестері бар және FR-4 субстраттары қолданылады. Қызмет ету мерзімі ұзақ емес, тұрақтылық нашар, сәл қатал ортада олар тікелей соққы береді. Сенсорды халықаралық стандарттарға сай ету үшін көп күш қажет.
Сенсорға әлі де керамикалық схема қажет. Ол дамыған елдерде кеңінен қолданылған. Қытай шын мәнінде техникалық жағынан шектеулі емес және сенсорлық платаларды ауыстыру ірі өндірушілерге байланысты, Goer, Dahua. Өндірушілер үлкенірек және күшті болу үшін технологиялық инновацияларды жүзеге асыру үшін жетекшілік ету үшін Қытайдың сенсорлық индустриясы да әлемнің қарқынына ілесе алады.
