Датчиктердің негізгі классификациясы:
Мақсаты бойынша
Қысымға және күшке сезімтал сенсорлар, позиция сенсорлары, деңгей сенсорлары, қуат сенсорлары, жылдамдық сенсорлары, акселерометрлер, радиация сенсорлары, жылу сенсорлары.
Принцип бойынша
Діріл датчигі, ылғалдылық сенсоры, магниттік датчик, газ датчигі, вакуум сенсоры, биосенсор және т.б.
Шығу сигналын басыңыз
Аналогтық сенсор: өлшенген электрлік емес шаманы аналогтық электрлік сигналға түрлендіреді.
Сандық сенсор: өлшенген электрлік емес шамаларды сандық шығыс сигналдарына (тікелей де, жанама да) түрлендіреді.
Сандық сенсор: Өлшенген семафорды жиілік сигналының немесе қысқа цикл сигналының шығысына түрлендіреді (тікелей немесе жанама түрлендіруді қоса).
Ауыстыру сенсоры: өлшенген сигнал белгілі бір шекке жеткенде, сенсор сәйкесінше орнатылған төмен немесе жоғары сигналды шығарады.
Өндіріс процесі бойынша
Біріктірілген сенсорлар кремний негізіндегі жартылай өткізгіш интегралдық схемаларды өндіру үшін стандартты технологиялық технологияны қолдана отырып дайындалады.
Сынақтағы сигналды бастапқы өңдеу үшін пайдаланылатын схеманың бір бөлігі де әдетте сол чипте біріктірілген.
Жұқа пленка сенсоры диэлектрлік негізге (субстратқа) салынған сәйкес сезімтал материалдың пленкасы арқылы қалыптасады. Араластыру процесі пайдаланылған кезде, схеманың бір бөлігін осы негізге де жасауға болады.
Қалың пленка сенсоры әдетте Al2O3-тен жасалған керамикалық негізге сәйкес материалдың суспензиясын жабу арқылы жасалады, содан кейін қалың пленка қалыптастыру үшін термиялық өңдеуден өтеді.
Керамикалық сенсорлар стандартты керамикалық процестерді немесе олардың кейбір вариацияларын (зол, гель және т.б.) пайдалана отырып шығарылады.
Тиісті дайындық операциясы аяқталғаннан кейін қалыптасқан компонент жоғары температурада агломерацияланады. Қалың пленка мен керамикалық сенсорлардың екі процесі арасында көптеген ортақ сипаттамалар бар. Кейбір жағынан қалың пленка процесін керамикалық процестің нұсқасы ретінде қарастыруға болады.
Әрбір технологиялық технологияның өзіндік артықшылықтары мен кемшіліктері бар. Керамикалық және қалың пленка сенсорлары неғұрлым ақылға қонымды
